даашинз

1666 Жианье зам, Өндөр технологийн бүс, Лешан хот, Сычуань муж, Хятад.

утасны дугаар +86 15390206217
И-МАЙЛ sale@sanjiangchem.com

Хагас дамжуулагч процесст зориулсан химийн бодисууд

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь үндсэндээ химийн бодистой холбоотой үйл явц бөгөөд үйл явцын 20 хүртэлх хувийг цэвэрлэх, вафель гадаргууг бэлтгэх үйл явц юм.

Өргөст цаас үйлдвэрлэхэд ашигладаг химийн материалыг бид янз бүрийн химийн хэлбэрээр (шингэн ба хийн хэлбэрээр) ирдэг, цэвэршилтийг нь хатуу хянадаг химийн бодис гэж нэрлэж заншсан.Эдгээр химийн бодисын үндсэн үүрэг нь дараах байдалтай байна.

Химийн нойтон уусмал, хэт цэвэр усаар өрмөнцөрийн гадаргууг цэвэрлэх;

P төрлийн эсвэл N төрлийн цахиурын материалыг авахын тулд өндөр энергитэй ион бүхий цахиур ялтсуудыг допинг хийх;

Дамжуулагчийн давхаргын хооронд янз бүрийн металл дамжуулагчийн давхаргууд ба шаардлагатай диэлектрик давхаргыг байрлуулах;

MOS төхөөрөмжүүдийн үндсэн хаалганы диэлектрик материал болох нимгэн SiO2 давхарга үүсгэх;

Материалыг сонгон авч, хальсан дээр хүссэн хэв маягийг бүрдүүлэхийн тулд сийвэнгийн сайжруулсан сийлбэр эсвэл нойтон урвалжийг ашиглах;

Шингэн өндөр цэвэршилттэй урвалжуудыг цэвэршилтээр нь UP-S, UP, EL гэсэн гурван зэрэглэлд ангилдаг ба EL-ийг дараахь байдлаар хуваадаг.

Цахим 1-р анги (EL-Ⅰ)
SEMI C1 C2 стандарттай тэнцэх 100-1000 PPb металлын хольцтой;

Цахим 2-р анги (EL-Ⅱ)
түүний металлын хольцын агууламж SEMI C7 стандарттай тэнцэх 10-100 PPb;

Цахим анги 3 (EL-Ⅲ)
SEMI C7 стандарттай тэнцэх 1-10 PPb металлын хольцтой;

Цахим 4-р анги (EL-IV)
SEMI C8 стандарттай тэнцэх 0.1-1PPb металлын хольцтой;

Хэт цэвэр, өндөр цэвэршилттэй урвалжууд нь олон улсад технологийн химийн бодис, мөн нойтон химийн бодис гэж нэрлэгддэг бөгөөд нэгдсэн хэлхээ (IC) болон маш том хэмжээний интеграл схем (VLSI) үйлдвэрлэх процессын үндсэн химийн материалын нэг юм. .Энэ нь мөн цахиур ялтсын гадаргууг цэвэрлэх, сийлбэр хийхэд ашиглагддаг.Хэт цэвэр, өндөр цэвэршилттэй урвалжуудын цэвэр байдал, цэвэр байдал нь нэгдсэн хэлхээний гарц, цахилгаан шинж чанар, найдвартай байдалд маш чухал нөлөө үзүүлдэг.Маш олон төрлийн электрон химийн бодисууд, техникийн өндөр шаардлага байдаг.Энэ нь микроэлектроникийн технологийн хөгжилд тулгуурладаг.Микроэлектроникийн технологи хөгжихийн хэрээр синхрон буюу хугацаанаас өмнө хөгждөг.Үүний зэрэгцээ микроэлектроникийн технологийн хөгжлийг хязгаарладаг.


Шуудангийн цаг: 2022 оны 6-р сарын 23-ны хооронд